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中央精機マイクロスキャニングステージ MSS-50C

中央精機マイクロスキャニングステージ MSS-50C

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商品情報

【仕様】移動方向:XY軸2方向移動量（mm）:XY軸±25 ステージ面（mm）:155X155 使用モータ:PK523HPA（5線式ペンタゴン結線、0.75A/相）分解能（mm）:0.002 送りねじ仕様:ボールねじ送りねじリード（mm）:1 移動ガイド:V溝とクロスローラ移動精度（mm）:真直度（水平・垂直）0.008 位置決め精度（1/10ストローク）（mm）:X軸0.005、Y軸0.005 位置決め精度（フルストローク）:X軸0.02、Y軸0.01 繰り返し精度（

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